ব্যক্তি যোগাযোগ : Harden_hu
ফোন নম্বর : +8618062439876
হোয়াটসঅ্যাপ : +8618062439876
June 17, 2024
ফটোরেসিস্ট শিল্প চেইন এবং মনোমার, রেজিন এবং সমর্থনকারী বিকারকগুলির স্থানীয়করণের অগ্রগতির বিশ্লেষণ
সারসংক্ষেপ
ফটোরেসিস্ট ফটোলিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার একটি গুরুত্বপূর্ণ মূল উপাদান।এটি মূলত ফিল্ম-গঠনকারী রেজিন, সংবেদনশীল, মনোমার, দ্রাবক এবং সংযোজন দিয়ে গঠিত।এটি সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের মূল বাধা উপাদান।এটির উচ্চ প্রযুক্তিগত বাধা রয়েছে এবং এটি আমদানির উপর বেশি নির্ভরশীল।ফটোরেসিস্ট শিল্প শৃঙ্খলে একাধিক লিঙ্ক জড়িত, যেমন মোনোমার, রেজিন, আলোক সংবেদনশীল উপকরণ থেকে শুরু করে ডেভেলপার এবং স্ট্রিপারের মতো সহায়ক বিকারক।চীনের সেমিকন্ডাক্টর ফটোরেসিস্ট বাজার আমদানির উপর নির্ভর করে।প্রধান উপাদানগুলির মধ্যে রয়েছে KrF, ArF এবং EUV ফটোরেসিস্ট রেজিন এবং আলোক সংবেদনশীল উপকরণ।তাদের মধ্যে, মনোমার এবং পোস্ট-প্রসেসিং প্রযুক্তি হল স্থানীয়করণকে সীমাবদ্ধ করার প্রধান কারণ।সেমিকন্ডাক্টর ফটোরেসিস্ট সাপোর্টিং রিএজেন্টগুলিও হল বাধা পণ্য যা জরুরীভাবে অভ্যন্তরীণভাবে তৈরি করা প্রয়োজন, যার মধ্যে আলোক সংবেদনশীল উপকরণ এবং বিকাশকারী এবং স্ট্রিপাররা মূল।
বিস্তারিত
ফটোরেসিস্ট ফটোলিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার একটি গুরুত্বপূর্ণ মূল উপাদান।এটিকে পিসিবি, প্যানেল এবং সেমিকন্ডাক্টর ফটোরেসিস্টে ভাগ করা যেতে পারে ডাউনস্ট্রিম অনুযায়ী।এটি প্রধানত ফিল্ম-গঠন রজন, সংবেদনশীল, মনোমার, দ্রাবক এবং সংযোজন দ্বারা গঠিত।এটি সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের মূল বাধা উপাদানও।এটির উচ্চ প্রযুক্তিগত বাধা রয়েছে এবং এটি আমদানির উপর বেশি নির্ভরশীল।ফটোরেসিস্ট শিল্প শৃঙ্খলে একাধিক লিঙ্ক জড়িত, যেমন মোনোমার, রেজিন, আলোক সংবেদনশীল উপকরণ থেকে শুরু করে ডেভেলপার এবং স্ট্রিপিং সলিউশনের মতো সহায়ক বিকারক।আশা করা হচ্ছে যে গ্লোবাল ফটোরেসিস্ট মার্কেট CAGR 2019 থেকে 2026 পর্যন্ত 6.3% এ পৌঁছাবে এবং 2026 সালের মধ্যে US$12 বিলিয়ন ছাড়িয়ে যাবে।
1. ফটোরেসিস্ট হল একটি মূল উপাদান যা ফটোলিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায় অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।এটিকে পিসিবি, প্যানেল এবং সেমিকন্ডাক্টর ফটোরেসিস্টে ভাগ করা যেতে পারে ডাউনস্ট্রিম অনুযায়ী।তাদের মধ্যে, অর্ধপরিবাহীগুলিতে ব্যবহৃত ফটোরেসিস্ট হল চীনের সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের মূল বাধা উপাদান।এটি অনুমান করা হয় যে গ্লোবাল ফটোরেসিস্ট মার্কেট CAGR 2019 থেকে 2026 পর্যন্ত 6.3% পৌঁছবে এবং 2026 সালের মধ্যে US$12 বিলিয়ন ছাড়িয়ে যাবে বলে আশা করা হচ্ছে। শিল্প স্থানান্তরের ফ্যাক্টরের সাথে মিলিত, চীনের ফটোরেসিস্ট বাজারের বৃদ্ধির হার বিশ্বব্যাপী গড়কে ছাড়িয়ে গেছে।
2. ফটোরেসিস্টের কম্পোজিশন স্ট্রাকচার জটিল, প্রধানত ফিল্ম-ফর্মিং রজন, সেন্সিটাইজার, মনোমার, দ্রাবক এবং সংযোজন দিয়ে গঠিত।উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং ধাতব আয়নের প্রয়োজনীয়তা সহ সেমিকন্ডাক্টর ফটোরেসিস্ট মনোমারের সংশ্লেষণ কঠিন এবং এটি আমদানির উপর নির্ভর করে।Xuzhou Bokang বিশ্বের ফটোরেসিস্ট মনোমার প্রযুক্তির 80% সংরক্ষণ করে এবং সুপরিচিত জাপানি এবং কোরিয়ান ফটোরেসিস্ট ফিনিশড পণ্য কোম্পানিগুলির একটি স্থিতিশীল সরবরাহকারী।Wanrun শেয়ার এছাড়াও photoresist monomer পণ্য আছে.রজন হল ফটোরেসিস্টের সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ উপাদান, এবং দেশীয় কোম্পানি যেমন Shengquan Group, Xuzhou Bokang, Tongcheng New Materials, এবং Wanrun শেয়ারের লেআউট রয়েছে।ফটোরেসিস্ট দ্রাবকগুলির সামগ্রিক স্থানীয়করণ সরবরাহ বেশি, এবং PMA-এর ভাগ অনেক এগিয়ে।দেশীয় তালিকাভুক্ত কোম্পানি বাইচুয়ান শেয়ার এবং ইডা শেয়ারের লেআউট রয়েছে।ফটোরেসিস্টদের জন্য আলোক সংবেদনশীল উপাদানগুলির স্থানীয়করণের হার কম, এবং দেশীয় কোম্পানি যেমন কিয়াংলি নিউ মেটেরিয়ালস এবং জিউরি নিউ মেটেরিয়ালস এর লেআউট রয়েছে।সমর্থনকারী রিএজেন্টগুলি প্রধানত বিকাশকারী এবং স্ট্রিপিং সলিউশন এবং গ্রিন্ডার মতো দেশীয় সংস্থাগুলির লেআউট রয়েছে।
3. Photoresist অত্যন্ত উচ্চ প্রযুক্তিগত বাধা সঙ্গে একটি উপাদান.উচ্চ-মানের ফটোরেসিস্টের উত্পাদন ভাল কর্মক্ষমতা এবং স্থিতিশীল মানের সাথে মনোমারের উপর অত্যন্ত নির্ভরশীল।এক্সপোজার আলোর উত্স, উত্পাদন প্রক্রিয়া, ফিল্ম-গঠনের বৈশিষ্ট্য ইত্যাদির ক্ষেত্রে বিভিন্ন ফটোরেসিস্টের বিভিন্ন কর্মক্ষমতা প্রয়োজনীয়তা রয়েছে এবং উপাদান দ্রবণীয়তা, এচিং প্রতিরোধ এবং আলোক সংবেদনশীলতার জন্য বিভিন্ন প্রয়োজনীয়তা রয়েছে।বাজারের চাহিদা মেটাতে দেশীয় কোম্পানিগুলোকে তাদের R&D শক্তি এবং প্রযুক্তিগত স্তর উন্নত করতে হবে।
4. ফটোরেসিস্ট শিল্প শৃঙ্খলে একাধিক লিঙ্ক রয়েছে, যেমন মোনোমার, রেজিন, আলোক সংবেদনশীল উপকরণ থেকে শুরু করে ডেভেলপার এবং স্ট্রিপিং সলিউশনের মতো সহায়ক বিকারক।দেশীয় কোম্পানীগুলোকে তাদের প্রতিযোগীতা বাড়াতে বিভিন্ন লিংকে অগ্রগতি খুঁজে বের করতে হবে।Xuzhou Bokang বিশ্বের ফটোরেসিস্ট মনোমার প্রযুক্তির 80% সংরক্ষণ করে, Shengquan Group হল অন্যতম প্রধান দেশীয় ফটোরেসিস্ট নির্মাতা, Grinda-এর বিকাশকারী ক্ষেত্রে একটি বিন্যাস রয়েছে, এবং Qiangli New Materials এবং Jiuri New Materials-এর আলোক সংবেদনশীল উপাদান ক্ষেত্রে একটি বিন্যাস রয়েছে।
5. ফটোরেসিস্টের বিস্তৃত অ্যাপ্লিকেশন রয়েছে, প্রধানত সেমিকন্ডাক্টর, পিসিবি, প্যানেল এবং অন্যান্য ক্ষেত্রে।তাদের মধ্যে, সেমিকন্ডাক্টরগুলিতে ব্যবহৃত ফটোরসিস্ট হল চীনের সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের মূল বাধা উপাদান, যা চিপগুলির উত্পাদন খরচের 30% জন্য দায়ী।অটোমোবাইল, এআই, জাতীয় প্রতিরক্ষা এবং অন্যান্য ক্ষেত্রগুলির দ্রুত বিকাশের সাথে, ফটোরেসিস্টের বাজারের চাহিদা বাড়তে থাকে।
6. গ্লোবাল ফটোরেসিস্ট মার্কেট প্রসারিত হচ্ছে, এবং গ্লোবাল ফটোরেসিস্ট মার্কেটের CAGR 2019 থেকে 2026 সাল পর্যন্ত 6.3% এ পৌঁছবে বলে আশা করা হচ্ছে, যা 2026 সালের মধ্যে US$12 বিলিয়ন ছাড়িয়ে যাবে। শিল্প স্থানান্তরের কারণগুলির সাথে মিলিত হয়ে চীনের ফটোরেসিস্ট বাজারের বৃদ্ধির হার বৈশ্বিক গড় ছাড়িয়ে গেছে।গার্হস্থ্য ফটোরেসিস্ট বাজারের চাহিদা ক্রমাগত বৃদ্ধি পাচ্ছে, এবং দেশীয় সংস্থাগুলিকে তাদের প্রতিযোগিতার উন্নতি করতে হবে এবং একটি বৃহত্তর বাজার শেয়ারের জন্য প্রচেষ্টা করতে হবে।
ফটোরেসিস্ট হল ফটোলিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার মূল উপাদান এবং এতে ফিল্ম-ফর্মিং এজেন্ট, ফটোসেনসিটাইজার, দ্রাবক, সংযোজন এবং অন্যান্য রাসায়নিক উপাদান এবং অন্যান্য সংযোজন রয়েছে।আবেদন ক্ষেত্র অনুযায়ী, photoresist PCB, প্যানেল এবং অর্ধপরিবাহী photoresist বিভক্ত করা হয়.পিসিবি ফটোরেসিস্টের মধ্যে রয়েছে শুকনো ফিল্ম ফটোরেসিস্ট, ওয়েট ফিল্ম ফটোরেসিস্ট এবং সোল্ডার মাস্ক কালি।সেমিকন্ডাক্টর ফটোরেসিস্টগুলিকে এক্সপোজার তরঙ্গদৈর্ঘ্য অনুসারে G/I লাইন ফটোরেসিস্ট, KrF ফটোরেসিস্ট, ArF ফটোরেসিস্ট এবং EUV ফটোরেসিস্টে ভাগ করা হয়েছে।ডিসপ্লে প্যানেল photoresist প্রধানত বিভক্ত করা হয়TFT-LCDphotoresist, রঙ photoresist, কালো photoresist এবং টাচ স্ক্রীন photoresist.অন্যান্য ফটোরেসিস্টের মধ্যে রয়েছে ইলেক্ট্রন বিম ফটোরেসিস্ট, আলোক সংবেদনশীল পলিমাইড, আলোক সংবেদনশীল পলিবেনজক্সাজল রেসিন ইত্যাদি।
1. ফটোরেসিস্ট হল ফটোলিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার মূল উপাদান, যা রাসায়নিক উপাদান যেমন ফিল্ম ফর্মার, ফটোসেনসিটাইজার, দ্রাবক, সংযোজন এবং অন্যান্য সংযোজন দ্বারা গঠিত।ফটোরেসিস্ট হল একটি হালকা-সংবেদনশীল মিশ্র তরল যা মাস্ক থেকে প্রক্রিয়াকরণের জন্য সাবস্ট্রেটে সূক্ষ্ম নিদর্শন স্থানান্তর করতে ব্যবহৃত হয়।প্রক্রিয়াকরণের প্রয়োজনীয়তার উপর নির্ভর করে, ফিল্ম ফরমার্স, ফটোসেনসিটাইজার, দ্রাবক এবং ফটোরেসিস্টের সংযোজনগুলি ভিন্ন হবে, এইভাবে বিভিন্ন ধরনের উদ্ভূত হয়।
2. PCB photoresist প্রধানত সাবস্ট্রেট বোর্ডে সার্কিট ইমেজ স্থানান্তর করতে ব্যবহৃত হয়।পিসিবি ফটোরেসিস্টের মধ্যে রয়েছে শুকনো ফিল্ম ফটোরেসিস্ট, ওয়েট ফিল্ম ফটোরেসিস্ট এবং ফটোইমেজেবল সোল্ডার মাস্ক কালি।শুকনো ফিল্ম ফটোরেসিস্ট এবং ওয়েট ফিল্ম ফটোরেসিস্টের প্রক্রিয়াকরণের নীতিগুলি একই, এবং প্রধান পার্থক্যটি প্রক্রিয়া প্রবাহ এবং ব্যবহারের প্রয়োজনীয়তার মধ্যে রয়েছে।ফটোইমেজেবল সোল্ডার মাস্ক কালি একটি বিশেষ ফটোরেসিস্ট, যা মূলত সোল্ডার মাস্ক লেয়ার তৈরি করতে ব্যবহৃত হয় এবং সোল্ডার মাস্ক এবং ফটোলিথোগ্রাফির দুটি কাজ রয়েছে।
3. সেমিকন্ডাক্টর ফটোরেসিস্ট প্রধানত সূক্ষ্ম ইলেকট্রনিক সার্কিট প্যাটার্ন প্রক্রিয়া করতে ব্যবহৃত হয়।বিভিন্ন এক্সপোজার তরঙ্গদৈর্ঘ্য অনুসারে, সেমিকন্ডাক্টর ফটোরেসিস্টকে G/I লাইন ফটোরেসিস্ট, KrF ফটোরেসিস্ট, ArF ফটোরেসিস্ট এবং EUV ফটোরেসিস্টে ভাগ করা যায়।ইন্টিগ্রেটেড সার্কিটগুলির লাইনের প্রস্থ ক্রমাগত সঙ্কুচিত হতে থাকায়, ফটোরেসিস্টগুলির এক্সপোজার তরঙ্গদৈর্ঘ্যও রেজোলিউশন উন্নত করার জন্য ক্রমাগত শর্ট-ওয়েভ ব্যান্ডের দিকে বিকাশ করছে।একই সময়ে, রেজোলিউশন বর্ধন প্রযুক্তির মাধ্যমে ফটোরেসিস্টের রেজোলিউশন স্তরও উন্নত করা হয়।
4. ডিসপ্লে প্যানেল ফটোরেসিস্ট প্রধানত তরল স্ফটিক প্যানেলের সূক্ষ্ম নিদর্শন তৈরি করতে ব্যবহৃত হয়।বিভিন্ন ব্যবহার অনুসারে, ডিসপ্লে প্যানেল ফটোরেসিস্টকে টিএফটি-এলসিডি ফটোরেসিস্ট, রঙিন ফটোরেসিস্ট, কালো ফটোরেসিস্ট এবং টাচ স্ক্রিন ফটোরেসিস্টে ভাগ করা যায়।তাদের মধ্যে, TFT-LCD ফটোরেসিস্ট তরল ক্রিস্টাল প্যানেলের ফ্রন্ট-এন্ড অ্যারে প্রক্রিয়ায় সূক্ষ্ম প্যাটার্ন ইলেক্ট্রোডগুলি প্রক্রিয়া করতে ব্যবহৃত হয়;রঙিন ফিল্টার তৈরি করতে রঙিন ফটোরেসিস্ট এবং কালো ফটোরেসিস্ট ব্যবহার করা হয়;টাচ স্ক্রীন ফটোরেসিস্ট টাচ ইলেক্ট্রোড তৈরি করতে ব্যবহৃত হয়।
5. ফটোরেসিস্ট সাপোর্টিং রিএজেন্ট হল এমন উপাদান যা সরাসরি ফটোরেসিস্টের সাথে যোগাযোগ করে, যার মধ্যে রয়েছে ডেভেলপার, স্ট্রিপিং সলিউশন ইত্যাদি। ডেভেলপার হল একটি রিএজেন্ট যা ফটোরেসিস্টের উন্মুক্ত এবং অপ্রকাশিত অংশগুলিকে আলাদা করে, এবং স্ট্রিপার ফটোরসিস্ট এবং এর অবশিষ্টাংশগুলি অপসারণ করতে ব্যবহৃত হয়।ফটোরেসিস্ট সমর্থনকারী বিকারকগুলি ফটোলিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার একটি অপরিহার্য অংশ এবং ফটোলিথোগ্রাফি গুণমান এবং প্রক্রিয়াকরণ দক্ষতার উপর একটি গুরুত্বপূর্ণ প্রভাব ফেলে।
6. অন্যান্য ফটোরেসিস্টের মধ্যে প্রধানত বিশেষ প্রক্রিয়ার ফটোরেসিস্ট অন্তর্ভুক্ত থাকে যেমন ইলেক্ট্রন বিম ফটোরেসিস্ট, আলোক সংবেদনশীল পলিমাইড এবং আলোক সংবেদনশীল পলিবেনজক্সাজল রেজিন।এই ফটোরসিস্টগুলি প্রস্তুতকারকের সংখ্যা, সরবরাহের পরিমাণ এবং ইউনিটের দামের দিক থেকে সেমিকন্ডাক্টর ফটোরেসিস্টের চেয়ে নিকৃষ্ট।ইলেক্ট্রন বিম ফটোরেসিস্ট হল একটি উচ্চ-রেজোলিউশন ফটোরেসিস্ট যা সাবমাইক্রন রেজোলিউশন অর্জন করতে পারে।আলোক সংবেদনশীল পলিমাইড এবং আলোক সংবেদনশীল পলিবেনজক্সাজোল রজন হল অপটিক্যাল উপাদান যা মূলত মাইক্রো সার্কিট বোর্ড তৈরি করতে ব্যবহৃত হয়।
7. মাইক্রো-প্রসেসিং প্রযুক্তির মূল উপাদান হিসাবে, ফটোরসিস্টের বাজারের আকার এবং প্রয়োগের ক্ষেত্রগুলি ক্রমাগত প্রসারিত হচ্ছে।ভোক্তা ইলেকট্রনিক্স, যোগাযোগ এবং চিকিৎসা যত্নের মতো শিল্পগুলির ক্রমাগত বিকাশের সাথে, মাইক্রো-প্রসেসিং প্রযুক্তির প্রয়োজনীয়তাগুলি আরও বেশি এবং উচ্চতর হয়ে উঠছে, যা ফটোরেসিস্ট বাজারের বিকাশকে আরও উন্নীত করবে।বর্তমানে, গার্হস্থ্য ফটোরেসিস্ট বাজার প্রধানত আমদানিকৃত পণ্য দ্বারা প্রভাবিত, তবে দেশীয় উদ্যোগের প্রযুক্তিগত অগ্রগতি এবং উত্পাদন ক্ষমতার উন্নতির সাথে, গার্হস্থ্য ফটোরেসিস্টের বাজারের শেয়ার ধীরে ধীরে বৃদ্ধি পাবে।
ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট তৈরিতে ফটোরেসিস্ট হল অন্যতম গুরুত্বপূর্ণ প্রক্রিয়া।এটি রজন, সংবেদনশীল, মনোমার, দ্রাবক এবং অন্যান্য সংযোজন দ্বারা গঠিত।ফটোরেসিস্টের গুণমানের স্থায়িত্ব নির্ভুলতা এবং খরচ নিয়ন্ত্রণের জন্য অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।বিভিন্ন ধরণের ফটোরেসিস্টের জন্য বিভিন্ন কাঁচামাল এবং সমর্থনকারী বিকারক প্রয়োজন।ফটোরেসিস্ট রজন হল ফটোরেসিস্টের প্রধান উপাদান এবং মনোমার হল সিন্থেটিক রজনের কাঁচামাল।বিভিন্ন ধরনের ফটোরেসিস্টের রজন পদ্ধতি এবং মনোমারের ধরনও আলাদা।
1. ফটোরেসিস্ট এবং এর সহায়ক কার্যকরী উপকরণগুলি লিথোগ্রাফি এবং এচিং প্রক্রিয়াতে ব্যবহৃত হয়।বড় আকারের ইন্টিগ্রেটেড সার্কিটগুলির উত্পাদন প্রক্রিয়ায়, লিথোগ্রাফি এবং এচিং প্রযুক্তি হল সূক্ষ্ম সার্কিট প্যাটার্নগুলির প্রক্রিয়াকরণের সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ প্রক্রিয়া, যা চিপের ন্যূনতম বৈশিষ্ট্যের আকার নির্ধারণ করে, চিপ উত্পাদন সময়ের 40-50% জন্য দায়ী, এবং উত্পাদন খরচ 30% জন্য অ্যাকাউন্ট.প্যাটার্ন স্থানান্তরের প্রক্রিয়াতে, সিলিকন ওয়েফার সাধারণত লিথোগ্রাফিকভাবে দশ বারের বেশি প্রক্রিয়া করা হয়।
2. ফটোরেসিস্টের গঠন এবং গঠন জটিল, এবং পণ্যের বাধা বেশি।ফটোরেসিস্টগুলি প্রধানত রেজিন, সংবেদনশীল (ফটোইনিশিয়াটর/ফটোসেনসিটাইজার/ফটোঅ্যাসিড জেনারেটর), মনোমার, দ্রাবক এবং অন্যান্য সংযোজন দ্বারা গঠিত।এক্সপোজার আলোর উত্স, উত্পাদন প্রক্রিয়া, ফিল্ম-গঠনের বৈশিষ্ট্য ইত্যাদির ক্ষেত্রে বিভিন্ন উদ্দেশ্যে ফটোরেসিস্টদের বিভিন্ন কর্মক্ষমতা প্রয়োজনীয়তা রয়েছে এবং উপাদান দ্রবণীয়তা, এচিং প্রতিরোধ এবং আলোক সংবেদনশীলতার জন্য বিভিন্ন প্রয়োজনীয়তা রয়েছে।বিভিন্ন কাঁচামালের অনুপাত ব্যাপকভাবে পরিবর্তিত হবে, যার মধ্যে ফটোরেসিস্ট রজন হল ফটোরেসিস্টের প্রধান উপাদান।
3. রজন ফটোরেসিস্টের সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ উপাদান।রজন ফটোরসিস্টের মোট খরচের 50%, ফটোরেসিস্ট কাঁচামালের মধ্যে সবচেয়ে বড় অনুপাত, এর পরে 35% এবং ফটোইনিটিটরগুলির জন্য 15%।বিভিন্ন ধরণের ফটোরেসিস্টের অনুপাত ভিন্ন হবে।উদাহরণস্বরূপ, ArF রজন প্রধানত প্রোপিলিন গ্লাইকোল মিথাইল ইথার অ্যাসিটেট, যা ভর দ্বারা মাত্র 5% -10%, কিন্তু এর খরচ ফটোরসিস্ট কাঁচামালের মোট খরচের 97% এরও বেশি।
4. ফটোরেসিস্ট রজন হল ফটোরেসিস্টের প্রধান উপাদান, যা ফটোরেসিস্টের কঙ্কাল গঠন করতে এবং ফটোরেসিস্টের মৌলিক বৈশিষ্ট্য যেমন কঠোরতা, নমনীয়তা, আনুগত্য ইত্যাদি নির্ধারণ করতে ফটোরেসিস্টে বিভিন্ন উপাদান পলিমারাইজ করতে ব্যবহৃত হয়। বিভিন্ন ধরনের ফটোরেসিস্টের বিভিন্ন ধরনের রজন থাকে। সিস্টেম এবং মনোমার প্রকার।উদাহরণস্বরূপ, ইউভি ফটোরেসিস্টের রজন সিস্টেম (জি লাইন, আই লাইন) হল ফেনোলিক রজন এবং ডায়াজোনাফথোকুইনন যৌগ এবং গভীর অতিবেগুনী ফটোরেসিস্টের রজন সিস্টেম (KrF, ArF ফটোরেসিস্ট) হল পলি (p-হাইড্রোক্সিস্টিরিন) এবং এর ডেরিভেটিভস এবং ফটোএসিড জেনারেটর। , পলি(অ্যালিসাইক্লিক অ্যাক্রিলেট) এবং এর কপলিমার এবং ফটোঅ্যাসিড জেনারেটর।গভীর আল্ট্রাভায়োলেট ফটোরেসিস্ট (EUV photoresist) ব্যবহৃত কাঁচামাল সিস্টেম প্রায়ই পলিয়েস্টার ডেরিভেটিভ আণবিক গ্লাস একক উপাদান উপাদান এবং photoacid জেনারেটর.
5. ফটোরেসিস্ট মনোমার হল সিন্থেটিক রেজিনের কাঁচামাল, এবং বিভিন্ন ধরণের ফটোরেসিস্টের অনুরূপ ফটোরেসিস্ট মনোমার থাকে।ঐতিহ্যগত আই-লাইন মনোমারগুলি প্রধানত মিথাইলফেনল এবং ফর্মালডিহাইড, যা বাল্ক রাসায়নিক;কেআরএফ মনোমারগুলি মূলত স্টাইরিন মনোমার, যা তরল প্রকৃতির;আরএফ মনোমারগুলি প্রধানত মেথাক্রাইলেট মনোমার, যা প্রকৃতিতে কঠিন এবং তরল উভয়ই।মনোমারগুলির কর্মক্ষমতা এবং মানের স্থায়িত্ব রজনটির কর্মক্ষমতা এবং মানের স্থিতিশীলতা নির্ধারণ করে এবং রজনটি মনোমার থেকে পলিমারাইজড হয়।ফিলামেন্টের সর্বোত্তম মানের ব্যাচের বিভিন্ন দৈর্ঘ্য থাকে, যেমন দীর্ঘ, মাঝারি এবং ছোট।উচ্চ-মানের রেজিনের জন্য প্রয়োজন যে প্রতিটি দৈর্ঘ্যের ফিলামেন্টের দৈর্ঘ্য এবং সংখ্যা সামঞ্জস্যপূর্ণ বা অনুরূপ, যা চূড়ান্ত ফটোরেসিস্ট কর্মক্ষমতার স্থায়িত্ব এবং ধারাবাহিকতা নিশ্চিত করার জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ কারণ।
6. ফটোরেসিস্টের সেনসিটাইজারগুলির মধ্যে রয়েছে ফটোসেনসিটাইজার এবং ফটোএসিড জেনারেটর, যেগুলি ফটোরেসিস্টের মূল উপাদান এবং ফটোরেসিস্টের সংবেদনশীলতা এবং রেজোলিউশনে একটি নির্ধারক ভূমিকা পালন করে।বিভিন্ন ধরণের ফটোরেসিস্টে সংবেদনশীলদের ধরন এবং অনুপাত পরিবর্তিত হবে।
7. দ্রাবক হল ফটোরেসিস্টের বৃহত্তম উপাদান।তাদের উদ্দেশ্য হল ফটোরেসিস্টকে তরল অবস্থায় রাখা, কিন্তু তারা নিজেরাই ফটোরেসিস্টের রাসায়নিক বৈশিষ্ট্যের উপর প্রায় কোন প্রভাব ফেলে না।সংযোজনগুলির মধ্যে মনোমার এবং অন্যান্য সহায়ক এজেন্ট অন্তর্ভুক্ত।মনোমারের ফোটোইনিশিয়েটরগুলির আলোক রাসায়নিক বিক্রিয়ার উপর একটি নিয়ন্ত্রক প্রভাব রয়েছে এবং অক্জিলিয়ারী এজেন্টগুলি প্রধানত ফটোরেসিস্টের নির্দিষ্ট রাসায়নিক বৈশিষ্ট্যগুলি পরিবর্তন করতে ব্যবহৃত হয়।
8. photoresist এর গুণমান স্থিতিশীলতা নির্ভুলতা এবং খরচ নিয়ন্ত্রণ উত্পাদন গুরুত্বপূর্ণ.বিভিন্ন ধরণের ফটোরেসিস্টের জন্য বিভিন্ন কাঁচামাল এবং সমর্থনকারী বিকারক প্রয়োজন।রজন, ফটোরেসিস্টের মূল উপাদান, এটির ফটোলিথোগ্রাফি কর্মক্ষমতা এবং এচিং প্রতিরোধের নির্ধারণ করে, যখন মনোমার হল সিন্থেটিক রজনের কাঁচামাল।রজন পদ্ধতি এবং মনোমারের ধরন বিভিন্ন ধরণের ফটোরেসিস্টও আলাদা।উচ্চ-মানের ফটোরেসিস্ট উত্পাদন করতে, আপনার অবশ্যই ভাল কর্মক্ষমতা এবং স্থিতিশীল মানের সাথে মনোমার থাকতে হবে।
ফটোরেসিস্ট মনোমার এবং সিন্থেটিক রেজিনের ফলন ব্যাপকভাবে পরিবর্তিত হয়।সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেডের ফটোরেসিস্ট মনোমারগুলির উচ্চ মানের, কম ধাতব আয়ন সামগ্রী এবং উচ্চ মূল্যের প্রয়োজন।ফটোরেসিস্ট মনোমারের শিল্পায়ন কঠিন এবং আমদানির উপর নির্ভর করে।জুঝো বোকাং-এর মতো দেশীয় কোম্পানিগুলো বাড়ছে।ফটোরেসিস্টের রজন হল ফটোরেসিস্টের সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ উপাদান এবং আইসি-গ্রেড রজন আমদানির উপর নির্ভর করে।
1. রজন সংশ্লেষিত করার জন্য ফটোরেসিস্ট মনোমারের ফলন পরিবর্তিত হয়।ফটোরেসিস্ট মনোমারের কর্মক্ষমতা সূচকগুলির মধ্যে রয়েছে বিশুদ্ধতা, আর্দ্রতা, অ্যাসিড মান, অমেধ্য, ধাতব আয়ন সামগ্রী এবং অন্যান্য সূচক।একই সময়ে, রজন তৈরির জন্য বিভিন্ন ফটোরেসিস্ট মনোমারের ফলন আলাদা।KrF রজন তৈরি করতে KrF মনোমারের ফলন বেশি, এবং 1 টন মনোমার প্রায় 0.8-0.9 টন রজন তৈরি করবে;ArF-এর ফলন কম হবে, প্রায় 1 টন মনোমার 0.5-0.6 টন ArF রজন তৈরি করবে, এবং ArF রজন বিভিন্ন মনোমার থেকে পলিমারাইজড, এবং প্রতিটি মনোমারের কর্মক্ষমতা এবং দামও আলাদা।
2. সেমিকন্ডাক্টর ফটোরেসিস্ট মনোমারের প্রবেশের বাধা অত্যন্ত বেশি।সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেড ফটোরেসিস্ট মনোমারের সংশ্লেষণের কিছু বিশেষত্ব রয়েছে, যার জন্য আরও স্থিতিশীল গুণমান এবং কম ধাতব আয়ন অমেধ্য প্রয়োজন।উদাহরণস্বরূপ, সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেড মনোমারের বিশুদ্ধতা 99.5% এ পৌঁছানোর জন্য প্রয়োজন, এবং ধাতব আয়নের পরিমাণ 1ppb-এর চেয়ে কম;যখন প্যানেল-গ্রেড মনোমার কাঠামোটি ইথিলিন অক্সাইড, বিশুদ্ধতা প্রয়োজন মাত্র 99.0%, এবং ধাতব আয়ন সামগ্রী কমপক্ষে 100ppb-এর চেয়ে কম।সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেড ফটোরেসিস্ট মনোমারের দাম সাধারণ মনোমারের চেয়ে অনেক বেশি।
3. ফটোরেসিস্ট মনোমারের শিল্পায়ন অনেক সমস্যার সম্মুখীন হয় এবং আমদানির উপর নির্ভর করে।মনোমারগুলি পলিমারাইজ করা সহজ, অভিজ্ঞতার দুর্বল প্রতিলিপিযোগ্যতা রয়েছে, মনোমার বিশুদ্ধতা বেশি, ধাতব আয়ন নিয়ন্ত্রণ কঠিন, প্রক্রিয়া পরিবর্ধন কঠিন এবং যাচাইকরণ চক্র দীর্ঘ।গার্হস্থ্য কোম্পানীগুলির জন্য নিম্নধারার গ্রাহকদের সরবরাহকারী সিস্টেমে প্রবেশ করার জন্য এটি একটি দীর্ঘ শংসাপত্র প্রক্রিয়া নেয়।সাধারণত, বিশেষ কারণ না থাকলে ডাউনস্ট্রিম গ্রাহকরা সহজে মূল মনোমার সরবরাহকারীকে পরিবর্তন করবেন না এবং পরিবর্তন করার আগে তাদের টার্মিনাল ফটোরেসিস্ট প্রস্তুতকারকের সম্মতি এবং শংসাপত্র গ্রহণ করতে হবে।
4. গার্হস্থ্য উদ্যোগগুলি ধরছে।বর্তমানে, আমার দেশের ফটোরেসিস্ট মনোমার বাজারের একটি উল্লেখযোগ্য অংশ এখনও প্রধানত মার্কিন যুক্তরাষ্ট্র এবং জাপানের শীর্ষস্থানীয় কোম্পানি যেমন ডুপন্ট এবং মিতসুবিশি কেমিক্যাল দ্বারা দখল করা হয়েছে।
5. ফটোরেসিস্টের রজন হল ফটোরেসিস্টের সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ উপাদান।ফটোরেসিস্ট রজন হল একটি উচ্চ আণবিক পলিমার যা উচ্চ অণুর কিছু ভৌত বৈশিষ্ট্য, যেমন ফিল্ম-গঠন বৈশিষ্ট্য এবং Tg (কাচের স্থানান্তর তাপমাত্রা)।ফটোরেসিস্টের রজনেও কিছু রাসায়নিক বৈশিষ্ট্য রয়েছে।এটি আলোর অধীনে ফটোএসিড জেনারেটর দ্বারা উত্পন্ন অ্যাসিডের সাথে প্রতিক্রিয়া করতে সক্ষম হতে হবে, বা ডিপ্রোটেকশন (রাসায়নিকভাবে পরিবর্ধিত ফটোরেসিস্ট), বা অন্যান্য উপাদানগুলির সাথে একত্রিত হতে হবে (ঐতিহ্যগত G/I লাইন ফটোরেসিস্ট), বা ক্রস-লিংকিং (নেতিবাচক ফটোরেসিস্ট), যার ফলে বিকাশকারীর মধ্যে দ্রবণীয়তার পরিবর্তন ঘটায়।একটি উদাহরণ হিসাবে রাসায়নিকভাবে পরিবর্ধিত ফটোরেসিস্ট গ্রহণ করে, রজনে একটি সুইচ রয়েছে যা বিকাশকারীতে এর দ্রবীভূতকরণ নিয়ন্ত্রণ করে - একটি অদ্রবণীয় ঝুলন্ত গোষ্ঠী।যখন এই সুইচটি বন্ধ করা হয়, তখন রজন বিকাশকারীতে দ্রবীভূত হয় না;এক্সপোজার প্রক্রিয়া চলাকালীন, ফটোঅ্যাসিড দ্বারা পচনশীল অ্যাসিড অদ্রবণীয় ঝুলন্ত গোষ্ঠীর সাথে প্রতিক্রিয়া করে, যা সুইচটি চালু করার সমতুল্য, রজনটিকে বিকাশকারীতে দ্রবীভূত করতে এবং প্যাটার্ন স্থানান্তর অর্জন করতে দেয়।
6. ফটোরেসিস্ট রেজিনগুলির মধ্যে, আইসি-গ্রেড রেজিনগুলি আমদানির উপর নির্ভর করে।জি-লাইন ফটোরেসিস্টরা সাইকেলাইজড রাবার রেজিন ব্যবহার করে এবং 1-লাইন ফটোরেসিস্টরা ফেনোলিক রেজিন ব্যবহার করে।ফেনোলিক রেজিনগুলি অবশ্যই লিনিয়ার ফেনোলিক রেজিন হতে হবে, যা ইলেকট্রনিক গ্রেড এবং সাধারণত জীবনে দেখা ফেনোলিক রেজিন থেকে সম্পূর্ণ আলাদা।স্থানীয়করণের মাত্রা খুবই কম এবং তারা মূলত আমদানির উপর নির্ভর করে।
7. photoresist রজন রাসায়নিক এবং শারীরিক বৈশিষ্ট্য photoresist কর্মক্ষমতা এবং গুণমান একটি গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে.
8. ফটোরেসিস্ট মনোমারের বৈশিষ্ট্যগুলির মধ্যে রয়েছে ফটোরেসিস্ট মনোমার সিন্থেটিক রেজিনের ফলনের বড় পার্থক্য।সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেডের ফটোরেসিস্ট মনোমারগুলির উচ্চ মানের, কম ধাতব আয়ন সামগ্রী এবং উচ্চ মূল্যের প্রয়োজন।ফটোরেসিস্ট মনোমারের শিল্পায়ন কঠিন এবং আমদানির উপর নির্ভর করে।জুঝো বোকাং এবং নিংবো মাইক্রোচিপের মতো দেশীয় সংস্থাগুলি বাড়ছে৷ফটোরেসিস্টের রজন হল ফটোরেসিস্টের সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ উপাদান, এবং IC-গ্রেড রজন আমদানির উপর নির্ভর করে।রজন এর রাসায়নিক এবং শারীরিক বৈশিষ্ট্য ফটোরেসিস্টের কর্মক্ষমতা এবং মানের একটি গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে।
চীনের সেমিকন্ডাক্টর ফটোরেসিস্ট বাজার আমদানির উপর নির্ভর করে।প্রধান উপাদানগুলির মধ্যে রয়েছে KrF, ArF এবং EUV ফটোরেসিস্ট রেজিন এবং আলোক সংবেদনশীল উপকরণ।তাদের মধ্যে, মনোমার এবং পোস্ট-প্রসেসিং প্রযুক্তি স্থানীয়করণকে সীমাবদ্ধ করার প্রধান কারণ।Xuzhou Bokang, Tongcheng New Materials এবং Wanrun Co., Ltd. এর মতো কোম্পানিগুলি প্রাসঙ্গিক গবেষণা এবং উন্নয়ন এবং ব্যাপক উৎপাদনের ফলাফল অর্জন করেছে, কিন্তু তাদের বাজারের শেয়ার ছোট।ফোটোরেসিস্টে দ্রাবক সবচেয়ে বেশি অনুপাতের জন্য দায়ী এবং PMA সবচেয়ে বেশি ব্যবহৃত হয়।আলোক সংবেদনশীল উপাদানগুলিকে প্রধানত PAG এবং PAC-তে বিভক্ত করা হয়, যা ফটোরেসিস্টের বৈশিষ্ট্যগুলির উপর উল্লেখযোগ্য প্রভাব ফেলে।
1. KrF ফটোরেসিস্ট রজন প্রধানত আমদানির উপর নির্ভর করে।মনোমার হল পি-হাইড্রোক্সিস্টাইরিনের একটি ডেরিভেটিভ, এবং অভ্যন্তরীণ সরবরাহ ছোট।KrF ফটোরেসিস্ট রজন উৎপাদন প্রক্রিয়াও কঠিন, বিশেষ করে পোস্ট-প্রসেসিং প্রক্রিয়া।
2. ArF ফটোরেসিস্ট রজন বেশ কয়েকটি মনোমারের কপলিমার দিয়ে তৈরি এবং এতে উচ্চ মাত্রার কাস্টমাইজেশন রয়েছে।কিছু সাধারণ এআরএফ রেজিন আন্তর্জাতিক বাজারে কেনা যায়, তবে উচ্চ-সম্পন্ন এআরএফ রেজিন প্রায় বিক্রি হয় না।অভ্যন্তরীণ উৎপাদনের প্রধান সীমাবদ্ধতাগুলি হল মনোমার সরবরাহ এবং উৎপাদন প্রক্রিয়া।
3. EUV photoresist রজন পলি(p-hydroxystyrene) রজন, আণবিক গ্লাস বা ধাতব অক্সাইড দিয়ে তৈরি করা যেতে পারে, কিন্তু সরঞ্জামের সীমাবদ্ধতার কারণে, মূলত কোন দেশীয় উৎপাদন নেই।হাই-এন্ড চিপ প্যাকেজিং ফটোরেসিস্ট পিআই এবং পিএসপিআই রেজিন ব্যবহার করে, যা খুব কঠিন এবং প্রযুক্তিটি মূলত বেশ কয়েকটি বিদেশী নির্মাতার হাতে।
4. ফোটোরেসিস্ট সিস্টেমে দ্রাবকগুলি সর্বাধিক অনুপাতের জন্য দায়ী, যার মধ্যে PMA সবচেয়ে বেশি ব্যবহৃত হয়।পরিসংখ্যানগত বিশ্লেষণ অনুসারে, সেমিকন্ডাক্টর এবং ডিসপ্লে ফটোরেসিস্টের মধ্যে, ArF ফটোরেসিস্টে দ্রাবক সামগ্রী প্রায় 94.4%, KrF ফটোরেসিস্টে দ্রাবক সামগ্রী প্রায় 89.4% এবং i/g লাইন ফটোরেসিস্টে দ্রাবক সামগ্রী প্রায় 80%।ডিসপ্লে ফটোরেসিস্টের মধ্যে, টিএফটি পজিটিভ রেসিস্টে মোটামুটি 82% দ্রাবক থাকে, রঙিন ফটোরেসিস্টে প্রায় 56% দ্রাবক থাকে এবং কালো ফটোরেসিস্টে প্রায় 31% দ্রাবক থাকে।
5. আলোক সংবেদনশীল পদার্থের মধ্যে রয়েছে ফটোইনিটিটর এবং ফটোএসিড জেনারেটর, যা ফটোরেসিস্টে গুরুত্বপূর্ণ সংযোজন।আলোক সংবেদনশীল উপাদানগুলি এমন যৌগ যা ফটোরেসিস্ট উপাদানগুলিতে সত্যই আলো-সংবেদনশীল এবং ফটোরেসিস্টের একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান।নোভোলাক রজন এবং পলিপ্যারাহাইড্রোক্সিস্টাইরিন বা পলিমেথাক্রাইলেট রজন সিস্টেম ফটোরেসিস্টে যথাক্রমে ফোটোইনিশিয়েটর এবং ফটোএসিড জেনারেটর ব্যবহার করা হয়।আলোক সংবেদনশীল পদার্থের ফটোরেসিস্টের বৈশিষ্ট্যগুলির উপর একটি উল্লেখযোগ্য প্রভাব রয়েছে, যার মধ্যে PAG ফটোরেসিস্টের সংবেদনশীলতা এবং রেজোলিউশন এবং উন্মুক্ত এলাকায় অ্যাসিডের প্রসারণের হারের উপর প্রভাব ফেলে।
6.PAG প্রধানত রাসায়নিকভাবে পরিবর্ধিত বাল্ক ফটোরেসিস্টে ব্যবহৃত হয়, যার মধ্যে KrF ফটোরেসিস্ট, ArF ফটোরেসিস্ট, এবং EUV ফটোরেসিস্ট, যা ঘরের তাপমাত্রায় শক্ত।PAC প্রধানত নোভোলাক রজন সিস্টেম ফটোরেসিস্টে ব্যবহৃত হয়, যেমন g-line/i-line photoresists.আলোক সংবেদনশীল উপাদান ফটোরেসিস্টের বৈশিষ্ট্যগুলিতে উল্লেখযোগ্য প্রভাব ফেলে।
7. PGMEA হল সাধারণভাবে ব্যবহৃত ডিসপ্লে ফটোরেসিস্ট দ্রাবকগুলির মধ্যে একটি, যা বাজারের মোট চাহিদার 85%-90% জন্য দায়ী৷PGMEA ছাড়াও, 3MBA, EEP এবং EDM-এর বাজার চাহিদা শীর্ষ তিনটির মধ্যে রয়েছে, যা DBDG, DMDG, PGDA এবং PGME-এর চেয়ে সামান্য বড়, যখন PM, cyclohexanone এবং EL বাজারে রয়েছে।ফটোইনিশিয়েটর এবং ফটোএসিড তুলনামূলকভাবে আমদানির উপর নির্ভরশীল।
সেমিকন্ডাক্টর ফটোরেসিস্ট সাপোর্টিং রিএজেন্টগুলি স্থানীয়করণের জরুরী প্রয়োজনে আটকে থাকা পণ্য, যার মধ্যে আলোক সংবেদনশীল উপকরণ এবং বিকাশকারী এবং স্ট্রিপাররা মূল।গার্হস্থ্য সংস্থাগুলি আলোক সংবেদনশীল উপকরণের ক্ষেত্রে সাফল্য অর্জন করেছে, তবে আরও উন্নয়ন এখনও প্রয়োজন।বিকাশকারী এবং স্ট্রিপার বাজারগুলি ক্রমশ বৃদ্ধি পাচ্ছে এবং দেশীয় কোম্পানিগুলি পরিকল্পনা করছে৷
1. সেমিকন্ডাক্টর ফটোরেসিস্টগুলির জন্য আলোক সংবেদনশীল উপকরণগুলি হল অন্যতম প্রধান বাধা পণ্য এবং এখনও বিদেশী আমদানির উপর নির্ভরশীল৷বিভিন্ন গুণাবলীর আলোক সংবেদনশীল উপকরণের দাম ব্যাপকভাবে পরিবর্তিত হয়।KrF ফটোরেসিস্টদের জন্য PAG-এর মূল্য হল 6,000-15,000 ইউয়ান/কেজি, যখন ArF ফটোরেসিস্টদের জন্য PAG-এর দাম প্রায় 15,000-300,000 ইউয়ান/কেজি, মূল্যের পার্থক্য 20 গুণ পর্যন্ত।গার্হস্থ্য সংস্থাগুলি আলোক সংবেদনশীল উপকরণের ক্ষেত্রে কিছু বিন্যাস তৈরি করেছে, তবে আরও উন্নয়ন এখনও প্রয়োজন।
2. বিকাশকারীর প্রধান কাজ হল ফটোলিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায় ফটোরেসিস্টকে দ্রবীভূত করা।বিভিন্ন ধরনের ডেভেলপার অনুযায়ী, ডেভেলপারকে ইতিবাচক ফটোরেসিস্ট ডেভেলপার এবং নেগেটিভ ফটোরেসিস্ট ডেভেলপারদের মধ্যে ভাগ করা যায়।উচ্চ-মানের উন্নয়ন নিশ্চিত করার জন্য প্রায় প্রতিটি ধরণের ফটোরেসিস্টের একটি বিশেষ বিকাশকারী থাকে।KrF পজিটিভ ফটোরেসিস্টের জন্য, 2.38% ঘনত্ব সহ টেট্রামেথিলামোনিয়াম হাইড্রোক্সাইড (TMAH) সাধারণত বিকাশকারী হিসাবে ব্যবহৃত হয়।
3. পজিটিভ ফটোরেসিস্ট ডেভেলপার প্রধানত ইতিবাচক ফটোরেসিস্টের উন্মুক্ত এলাকা দ্রবীভূত করতে ব্যবহৃত হয়।এটির ভাল বৈসাদৃশ্য রয়েছে, এবং জেনারেট করা গ্রাফিক্সের ভাল রেজোলিউশন, ভাল স্টেপ কভারেজ এবং ভাল বৈসাদৃশ্য রয়েছে, তবে দুর্বল আনুগত্য, দুর্বল এচিং প্রতিরোধ এবং উচ্চ খরচ।নেতিবাচক ফটোরেসিস্ট বিকাশকারী প্রধানত নেতিবাচক ফটোরেসিস্টের অপ্রকাশিত অঞ্চলটি দ্রবীভূত করতে ব্যবহৃত হয়।এটির ভাল আনুগত্য এবং ব্লকিং প্রভাব, দ্রুত আলোক সংবেদনশীলতা রয়েছে, তবে এটি বিকাশের সময় বিকৃত এবং প্রসারিত করা সহজ এবং শুধুমাত্র 2pm এর রেজোলিউশনের জন্য ব্যবহার করা যেতে পারে।
4. Grinda হল নেতৃস্থানীয় দেশীয় TMAH বিকাশকারী।কোম্পানির মূল পণ্য হল TMAH ডেভেলপার।2004 সালে, এটি পণ্যটিতে একটি প্রযুক্তিগত অগ্রগতি অর্জন করেছে এবং সফলভাবে ব্যাপক উত্পাদন অর্জন করেছে।প্রাসঙ্গিক প্রযুক্তিগত সূচকগুলি SEMI G5 স্ট্যান্ডার্ড প্রয়োজনীয়তায় পৌঁছেছে, এই ক্ষেত্রে বিদেশী কোম্পানিগুলির একচেটিয়াতা ভেঙেছে৷পণ্যগুলি কেবল আমদানি প্রতিস্থাপন করে না, তবে দক্ষিণ কোরিয়া, জাপান, তাইওয়ান এবং অন্যান্য অঞ্চলেও রপ্তানি করা হয়।
5. স্ট্রিপিং দ্রবণটি এক্সপোজার, বিকাশ এবং পরবর্তী প্রক্রিয়াগুলির পরে সাবস্ট্রেটের ফটোরেসিস্ট অপসারণ করতে ব্যবহৃত সমর্থনকারী বিকারককে বোঝায়।অন্তর্নিহিত সাবস্ট্রেট স্তরের ক্ষতি রোধ করার সময় ফটোরসিস্ট এবং অবশিষ্ট পদার্থগুলি অপসারণ করার জন্য এচিং প্রক্রিয়া সম্পন্ন হওয়ার পরে স্ট্রিপিং দ্রবণ সাধারণত ব্যবহৃত হয়।উচ্চ-নির্ভুল ফটোলিথোগ্রাফি প্রযুক্তির বিকাশের সাথে, খোদাই করা নিদর্শনগুলি আরও বেশি ক্ষুদ্রতর হয়ে উঠছে, এবং ধাতু এবং অক্সাইড ফিল্মের এচিং অবস্থা আরও কঠোর হয়ে উঠেছে, ফলস্বরূপ ফটোরেসিস্টের আরও বেশি ক্ষতি এবং ক্ষয় হচ্ছে।
6. স্ট্রিপিং তরল বাজার ক্রমাগত বৃদ্ধি পাচ্ছে।2022 সালে, গ্লোবাল ফটোরেসিস্ট স্ট্রিপিং তরল বাজারের বিক্রয় US$773 মিলিয়নে পৌঁছেছে এবং 2029 সালে এটি 1.583 বিলিয়ন মার্কিন ডলারে পৌঁছবে বলে আশা করা হচ্ছে, যার একটি চক্রবৃদ্ধি বার্ষিক বৃদ্ধির হার (CAGR) 8.9% (2023-2029)।পণ্যের ধরন এবং প্রযুক্তির দৃষ্টিকোণ থেকে, এটি ইতিবাচক ফটোরেসিস্ট স্ট্রিপিং তরল এবং নেতিবাচক ফটোরেসিস্ট স্ট্রিপিং তরলগুলি
আপনার বার্তা লিখুন